2023上海国际半导体展会:先进超纯水工艺助力高频科技走向新高峰

随着半导体产业的蓬勃发展，以及对超纯水的需求不断增加，高频科技作为行业领先的超纯水技术企业，受邀参加了6月29日至7月1日在上海举行的SEMICON China 2023上海国际半导体展会。在展会上，高频科技展示了其领先的超纯水工艺及创新产品，引起了广泛关注。本次展会的主题为“跨界全球·心芯相联”，旨在通过学术论坛和主题展区的联动，聚焦市场热点，促进产业链融合贯通，推动半导体产业链的持续健康发展。

一、领先超纯水工艺获业界广泛认可

作为行业领先的本土超纯水技术企业，高频科技专注于为芯片、显示等半导体高端制造业提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备。在本次展会上，高频科技通过展示“超纯水工艺沙盘模型”，向参展者展示了超纯水与循环再生解决方案及装备的技术特点。该系统融合了物理、化学、光化学、机械、空气动力学、流体力学等多项学科，涉及超过18项专业处理工艺环节，8次增压提升。通过该系统可以有效去除水中的颗粒物、阴阳离子、特殊离子、TOC(总有机碳)、微生物、溶解气体等杂质，保证产水水质接近绝对纯度，电导率无限接近18.24M的理论极限值。其纯度可达到99.9999999999%的(PPT级别——万亿分之一)，确保半导体工厂超纯水体系化生产与回用的安全性、稳定性、连续性，为芯片生产保驾护航。

半导体超纯水系统的先进性和稳定性与终端材料的选择有很大关系。在本次展会上，高频科技展示的GOALPURE反渗透膜元件、树脂系列产品等半导体水系统关键工艺产品及相关化学药剂，同样受到了与会者的关注。GOALPURE作为高频科技的独立子品牌，致力于为客户创造洁净、可持续的水环境，在水系统中的关键工艺产品及化学药剂的研发、推广和应用方面有着丰富的经验。

高频科技现场展示的专家运维服务体系，同样备受关注。高频科技依托公司自有优秀半导体水系统专家的经验，为半导体工厂量身定制了一体化运维服务体系，满足客户全周期运维需求的规范管理和降本增效。该体系将逐步实现专家数据化，通过数字化运维让复杂问题轻松解决，充分释放运维人员的时间与精力，满足客户省事和舒心的需求。

高频科技展示的先进超纯水工艺得到了展会参与者的广泛认可，许多人表示有意与高频科技合作。半导体行业对于生产用水的要求越来越高，同时对科学运维、降本增效的需求不断增加，高频科技的超纯水系统为提高运营率和良率提供了全方位的解决方案，为企业提高综合竞争力提供了有力的支持。

二、绿色水系统助半导体产业高效可持续发展

在SEMICON China 2023上海国际半导体展会上，高频科技相关负责人指出绿色创新解决方案对于促进半导体产业的可持续发展至关重要。半导体是用水密集型行业，打造绿色水系统可以提高企业水利用率，实现资源的“循环增效”，助力可持续发展。高频科技的回用水系统及废水收集处理系统为半导体企业实现绿色制造提供了重要的保障。该系统可以帮助半导体企业减少废水量、减少用水量、减少能耗、减少化学品使用及设备使用损耗，通过保障环保指标、水制程回收率和微量元素回收利用来实现对绿色厂务水平的综合保障。目前，该系统已实现水制程回收率75%-90%，助力半导体企业持续提升经济循环绩效。

值得一提的是，高频科技孵化的全资子公司合肥钛米半导体有限公司也在本次展会上亮相，带来了前沿的半导体废气治理方案，为产业绿色生产创造价值，受到了现场参展嘉宾的关注。

高频科技相关负责人表示，在国家政策的支持和终端应用集群推动的背景下，我国半导体产业依然处于快速发展的阶段，国内半导体产业链也进一步完善。高频科技将继续深耕超纯工艺技术的研发与创新，为半导体高端制造等行业提供高标准、高价值、高效益的解决方案，为中国的强“芯”之路做出新的贡献。

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